真空泵油主要分成兩大類礦物油與合成型，其中礦物型泵油包括含有添加劑、無添加劑與液體石蠟三類。合成型泵油主要有合成合成烴、酯類油、含氟化合物等。礦物型泵油的基礎油主要是石蠟基潤滑油和少量的環烷基潤滑油餾分切割、分子蒸餾的過程中得到的。

　　油在真空泵里面不僅起潤滑作用，還起到密封作用，真空泵的壓力和流量都是要靠真空泵油的正常運轉來保證的。在運轉時，通過油管把油箱里面的油帶到泵體，在泵體里面運轉后再通過回油管回流到油箱里面，因為真空泵運轉時溫度會達到70-105℃，部分油會變成油氣，隨著尾氣排到排氣口，通過沒有失效的油霧分離器(排氣過濾器)過來下來，又回流到油箱里。要保證真空泵不因缺油而卡死，我們就要保證油量要足，管道通暢，泵油不乳化，不產生淤泥能夠在真空泵里面流動。

　　我們日常操作要注意預防真空泵的“卡死”：

　　1.定期更換泵油，根據行業不同，油的質量不同，而制定不同的更換周期，一般來說700-3000小時更換一次，同時還要更換泵油過濾器，注意，每次更換要*把油更換掉，不要只是添加；

　　2.定期清洗油管；

　　3.定期更換油霧分離器，俗稱的排氣過濾器，防止油隨著尾氣排出真空泵，造成真空泵油的減少。